HORIBA Smart SE

Smart SE podjetja HORIBA Scientific je vsestranski spektroskopski elipsometer za hitre in natančne meritve tankih plasti. Z njim lahko določite debelino tanke plasti od nekaj angstromov do 20 µm, optične konstante (n,k) in lastnosti strukture tanke plasti (npr. hrapavost, optično razvrščene in anizotropne plasti itd.).
Spektralno območje od 450 do 1000 nm se izmeri v nekaj sekundah, elipsometrični podatki pa se analizirajo s programsko platformo DeltaPsi2. Programska oprema združuje dve ravni programske opreme, ki ustreza tako rutinski analizi z vnaprej določenimi recepti kot napredni analizi z najsodobnejšim elipsometričnim modeliranjem.

Prednosti:

• spektralno območje: od 450 nm do 1000 nm
• spektralna ločljivost: boljša od 3 nm
• čas merjenja: <1 s do 10 s
• vpadni kot 45° do 90° v korakih po 5°